仪器简介:
**一代 Dimension系列 AFM
Dimension Icon 原子力显微镜(AFM)的性能、功能及附件等方面具有全新表现,在聚合物、半导体、能源、数据存储及材料领域的纳米研究中将会得到广泛应用。Dimension Icon是Dimension系列产品中的**款设备,它基于世界上应用最广泛的AFM平台,集合了数十年的技术创新、行业内**的应用定制及客户反馈等于一身。这个系统经过从上到下的设计,在易用性、高分辨率及快速成像等方面有突出表现。
技术参数:
X-Y方向扫描范围:90um *90um典型值,最小85um
Z方向扫描范围:10um典型值,在成像及力曲线模式下;最小9.5um
垂直方向噪音基底:<30pmRMS, 在合适的环境及典型的成像带宽
X-Y定位噪音(闭环):<0.15nm RMS,典型成像带宽
X-Y定位噪音(闭环):<0.10nm RMS,典型成像带宽
Z传感器噪音水平(闭环):<35pm RMS, 典型成像带宽(达到625Hz)
整体线性误差(X-Y-Z):0.5% 典型值
样品尺寸/夹具:210mm真空吸盘样品台,直径210mm, 厚度15mm
电动定位样品台(X-Y轴):180mm*180mm可视区域;单向2um重复性;双向3um重复性。
显微镜光学系统:五百万像素数字照相机
180um至1465um可视范围
数字缩放及自动对焦功能
控制器:NanoScope V型控制器
工作台:整合所有控制器、结合人体工学设计,提供直接的物理或可视借口
震动隔绝:整体式气动减震台
声音隔绝:可隔绝环境中85 dBC的持续噪音
主要特点:
结合Veeco**的行业**的针尖-扫描AFM技术,Icon的温度补偿定位传感器使Z轴的的噪音水平达到亚-埃米级,X-Y方向达埃米级。在大样品台、90微米扫描范围系统的仪器当中,这种表现是非常突出的,优于绝大部分的开环、高分辨率AFM系统的噪音水平。