参数：

频率：13.56MHz

RF最大功率：50W（高中低段可调）

石英腔体尺寸：直径：74mm；深度：185mm

机器尺寸：220mm（高）X254mm（宽）X205mm（深）

机器重量：6KG

流量计和压力表头（可选）：0-160ml/min 0 Pa-大气压

机械泵（可选）：3L