产品型号

SGC-10薄膜测厚仪

主要特点

1、非接触式测量，用光纤探头来接收反射光，不会破坏和污染薄膜；

2、测量速度快，测量时间为秒的量级；

3、可用来测薄膜厚度，也可用来测量薄膜的折射率n和消光系数k；

4、可测单层薄膜，还可测多层膜系；

5、可广泛应用于各种介质，半导体，液晶等透明半透明薄膜材料；

6、软件的材料库中整合了大量材料的折射率和消光系数，可供用户参考；

7、内嵌微型光纤光谱仪，结构紧凑, 光纤光谱仪也可单独使用。

8、强大的软件功能：界面友好，操作简便，用户点击几下鼠标就可以完成测量。便捷快速的保存、读取测量得到的反射谱数据数据处理功能强大，可同时测量多达四层的薄膜的反射率数据。一次测量即可得到四层薄膜分别的厚度和光学常数等数据。材料库中包含了大量常规的材料的光学常数数据。用户可以非常方便地自行扩充材料数据库。

9、仪器具有开放性设计，仪器的光纤探头可很方便地取出，通过仪器附带的光纤适配器（如图所示）连接到带C-mount适用于微区（>10μm，与显微镜放大率有关）薄膜厚度的显微镜（显微镜需另配），就可以使本测量仪测量。

技术参数

1、厚度范围： 20nm-50um（只测膜厚），100nm-25um（同时测量膜厚和光学常数n，k），根据薄膜材料的种类，其范围有所不同。

2、准确度： <1nm或<0.5%

3、重复性： 0.1nm

4、波长范围： 380nm-1000nm

5、可测层数： 1-4层

6、样品尺寸： 样品镀膜区直径>1.2mm

7、测量速度： 5s-60s

8、光斑直径： 1.2mm-10mm可调

9、样品台： 290mm*160mm

10、光源： 长寿命溴钨灯（2000h）

11、光纤： 纯石英宽光谱光纤

12、探测器： 进口光纤光谱仪

13、电源：AC110V-240V，50HZ-60HZ

产品规格

尺寸：300mm*300mm*350mm，重量：18kg