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双管滑动快速加热冷却炉OTF-1200X-4-C4LVS
双管滑动快速加热冷却炉OTF-1200X-4-C4LVS图片
型号:OTF-1200X-4-C4LVS
产地:广东


产品介绍

双管滑动快速加热冷却炉OTF-1200X-4-C4LVS是特殊的双管CVD系统,是专为在金属箔上生长薄膜而设计的,特别适用于新一代能源——柔性金属箔电极方面的研究。本机可通过滑动炉体,实现快速加热和冷却。

OTF-1200X-4-C4LVS双管滑动快速加热冷却炉操作视频控温仪表操作视频

产品型号

双管滑动快速加热冷却炉OTF-1200X-4-C4LVS

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)

2、电:AC380V 50Hz(63A空气开关),必须有良好接地

3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带Ø6mm双卡套接头)

4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

1、采用高纯Al2O3保温材料,保证了炉膛有极好的温度均匀性,内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层,可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。

2、设有双石英管,金属箔缠绕在内管的外表面上,以发生CVD反应。

3、双管的真空密封法兰允许反应气体通过两管之间(10mm间隙)发生反应,冷却气体直接通入内管。

4、配有四通道质量流量计控制4路气体,及采用KF25快接和波纹管连接的高速机械泵。

5、底部设有滑轨,炉子可以从一端滑向另一端,从而实现快速升温和降温。

6、样品所在的位置每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。

技术参数

1、电源:单相208V-240V AC 50Hz/60Hz 2.5KW(20A保险丝)

2、石英管:外管外径Ø100mm,内径Ø96mm,长1400mm

内管外径Ø80mm,内径Ø75mm,长1400mm

3、加热区:440mm

4、恒温区:120mm(双温区炉可获得240mm)

5、工作温度:最高温度1100℃,连续温度1000℃

6、控温精度:±1℃

7、升降温速度:在使用前需要校正工作温度、加热效率、冷却效率

8、真空度:10-3torr(机械泵),10-5torr(分子泵)

9、真空法兰:SS304不锈钢,配有两个高温O型圈密封

10、流量计:4路精密质子流量计,气体流量自动控制(数字显示)

MFC1范围0-100sccm MFC2范围0-200sccm

MFC3范围0-200sccm MFC4范围0-500sccm

11、流量精度:0.2%

12、进出气口:1/4"卡套

产品规格

尺寸:550mm×380mm×520mm;重量:138kg

可选配件

1、铜箔(150m×150mm×25µm,生长石墨烯用)

2、防腐型数字式真空显示计

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