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SKJ-50晶体生长炉
SKJ-50晶体生长炉图片
型号:SKJ-50
产地:广东


产品介绍

SKJ-50晶体生长炉是用提拉法生长高质量氧化物单晶及金属单晶,如蓝宝石、GGG、YAG、SrLaAlO4、LaAlO3、Si、Ge等,最大可长出晶体尺寸达3" 。

产品型号

SKJ-50晶体生长炉

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)

2、电:AC380V 50Hz(63A空气开关),必须有良好接地

3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带Ø6mm双卡套接头)

4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

1、与同类相比属于小型晶体生长炉,适合于大专院校、研究所使用。

2、电子称在生长过程中可自动控制晶体的直径。

技术参数

1、电源:三相380V 25KW

2、感应射频:功率25KW,射频0.2KHz-20KHz

3、真空腔体:Ø500mm×700mm

4、真空度:10-3torr(机械泵),10-5torr(扩散泵)

5、最大提拉行程:500mm

6、提拉速度:0.1mm/h-20mm/h

7、籽晶杆旋转速度:0-40rpm

8、最大可熔融温度:2100℃

9、控温精度:<±0.2℃

10、冷却水:所需水压0.13MPa-0.18MPa,所需流量60L/min

11、移动速度:1mm/h-10mm/h可调

12、快速移动:手动

13、结晶转速:1rpm-50rpm

14、真空系统:机械泵和扩散泵

15、极限真空度:10-5torr

产品规格

1、炉体:880mm×1250mm×2850mm

2、控制柜:680mm×540mm×1700mm

3、中频柜:1100mm×500mm×1500mm

4、总重:1500kg

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