PPB克勒姆惰性气体净化器PF-200C在室温操作下减少气体杂质,可去惰性气体中的H2O、O2、CO、CO2、H2、NMHCs和氢气中的H2O、O2、CO,其体积小、流速高,可用于无循环系统的手套箱内。
产品型号
PPB克勒姆惰性气体净化器PF-200C
产品特点
1、杂质去除<1ppb,微粒0.03µm或1µm。
2、不需要加热或电源。
3、能改进工艺设备的性能。
4、高流量,可达2500splm。
技术参数
1、材质:316不锈钢
2、最大压力:250psig
3、接口:Ø6.35mm
4、漏率:<2×10-9atm cc/s He
产品规格
尺寸:Ø38mm×152mm