优点： 快速分析 Ultra DI® 50的采样量大，能够快速获取有效统计数据 仪器可以快速清洗，便于在采样点之间快速移动，节省操作人员的时间 采样时间间隔较短，缩短粒子分析时间 改善制程 采样体积大，零点计数值超低，可获取更多的有效统计数据，监测更微量的粒子漂移 实时监测粒子污染，对其作出迅速反应 Facility Net软件具有更先进的制程控制功能：文数传呼、传感器状态显示、制表和SPC图、时间图、历史数据记录等 更小的样本间误差，适用于更严格的制程 控制监测灵敏度达到0.05µm，能更迅速地监测制程变化 容易使用 可使用现有的以太网通讯网络 通过4-20mA直接连接PLC和SCADA系统 可用于监测臭氧水 不锈钢外壳，双HEPA过滤，可用于很脏的环境

应用

量化先进的超纯水（UPW）系统中的粒子浓度 检测过滤器效率 分析低浓度粒子趋势 监测UPW系统中的细菌增长 粒子事件追踪和报警 制程控制 连续系统监测

 粒径范围：0.05-0.20um 

通道数：4 

通道粒径：0.05、0.10、0.15、0.20um

 流量(mL/分钟)：1000mL/分钟士10% 

计数效率：100%样本体积

 采样量：≥ 3.75 mL/分钟 

最高浓度：10000个粒子计数/mL 

样本温度：15-50°C 最大压力：100 psi 

零点计数：≤50个粒子计数/L 

外表面材料：不锈钢 

湿式表面材料：Teflon@、Kel-F、石英、蓝宝石、Viton@、NG1玻璃、Simmraz® 

尺寸(LxWxH)：10x14x17 in.(25x35x42.5 cm) 

重量：45 lbs.(20.45 kg) 电源：100-125或208-240V，50-60Hz 

通讯：以太网，4-20mA(3个输出，其中2个为粒子通道，1个为仪器状态)，RS-232(仅为设置和故障诊断，无数据) 

状态显示：激光、电源、监测活动:1个三色LED显示屏

校准：可追踪校准材料，符合NIST(美国国家标准和技术研究所)标准和/或JIS(日本技术研究所)标准。 

环境温度:15-30°C，

湿度:非冷凝