FT-3110系列全自动四探针测试仪
一.功能描述：
四点探针法，全自动化运行测量系统，PC软件采集和数据处理；参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻；可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择；可显示：方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件. 报表输出数据统计分析.
二.适用范围
晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量；选择性发射极扩散片；表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；新型电极设计，如电镀铜电阻测量等；半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏等.
规格型号 | FT-3110A | FT-3110B（可扩展） |
1.电阻 | 10^-5～2×10^5Ω | 10^-6～2×10^5Ω |
2.方块电阻 | 10^-5～2×10^5Ω/□ | 10^-6～2×10^5Ω/□ |
3.电阻率 | 10^-6～2×10^6Ω-cm | 10-7～2×106Ω-cm |
4.测试电流 | 0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA， 10mA，100mA | 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
5.电流精度 | ±0.1% |
6.电阻精度 | ≤0.3% |
7.PC软件操作 | PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、报表生成等 |
8.压力范围（选购） | 探针压力可调范围：软件控制,100-500g可调 |
9.探针 | 针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3% 铜镀金或钨钢材质，探针间距1mm；2mm；3mm选配，其他规格可定制 |
10. 可测晶片尺寸 载台选购 | 选购:载台晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm） 其他规格可定制 |
11.分析模式 | 单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试 |
12.重复性 | 单点重复性：重复性≤0.5% |
13.防护功能 | 具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报 |
14.电源 | 输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<600W |
三. 参数资料：
标准配置外订购明细：
序号 | 型号 | 品名 | 单位 | 数量 | 备注 |
1 | 3310-CSX | 测试线 | 套 | 1 |
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2 | 09A | 标准电阻 | 个 | 1-5 | 选购规格和数量 |
3 | 3310-YPT-2 | 晶圆样品台 | 套 | 1 | 2寸;4寸;6寸;12寸选购 |
4 | 3310-06B | 四探针探头 | 个 | 1 | 直线型 |
5 | 340-TTZ | 镀金弹簧铜针4根 | 组 | 1 | 4根为一组 |
6 | 340-WTZ | 弹簧钨针4根 | 组 | 1 | 4根为一组 |
7 | 3310-RJ | 分析软件 | 套 | 1 |
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8 | PC | 电脑+打印机 | 套 | 1 | 依据客户要求配置 |
9 | 3310-JL | 检测技术服务 | 份 | 1 | 计量证书1份 |
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| 延保服务 | 年 | 1-3 |
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