产品介绍
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型号 | T81-50探针台 | T80-50探针台 |
制冷方式 | 液氦/液氮制冷 | 闭循环制冷机 |
腔体材质 | 无磁不锈钢或者铝合金 | |
真空度 | 真空上等高达10-8Pa | |
真空腔观察窗尺寸 | 2inch(可选) | |
控温范围 | 4.2K-450K | 5K-450K |
控温分辨率 | 0.001K控温仪相关 | |
温度稳定性 | 0.1K控温仪相关 | |
降温时间 | 40min | 150min内,视制冷机功率定 |
温度传感器 | 硅二极管、PT100(3个,样品台和探针臂和防辐射屏上各一个) | |
加热电源 | LVDC 低压直流 | |
样品台材质 | 镀金无氧铜 | |
样品台尺寸 | 直径20-50mm,可选100mm | |
样品台平整度 | ≤7μm | |
样品台固定方式 | 固定的样品台(可升级随位移台移动) | |
样品台振动级别 | ≤50纳米 | ≤1μm(三级减震) |
探针臂数量 | 2个、4个、6个、8个可选 | |
探针臂机械精度 | ±12.5mm(可升级±25mm),精度1μm(可选) | |
探针种类 | 钨、铍铜、微波探针(可选高达67GHz的GSG探针) | |
探针调节 | 真空波纹管外部调节,手动控制 | |
放大倍数 | 16~100X/20~4000X | |
显微镜行程 | X、Y平面2*2inch,精度1μm,Z轴行程≥50.8mm | |
电力需求 | 220V 50-60Hz |