电子级草酸水溶液属于高端湿电子化学品，为无色透明高纯草酸液体，采用超纯原料与纯化工艺制备，严格管控各类金属杂质离子，具备优秀的金属络合能力，可高效去除基材表面金属残留、氧化物污染物，对基材损伤小，适用于半导体、显示、光伏等精密电子制造湿法制程，可替代部分含氢氟酸清洗体系，降低工艺风险。

标准现货规格为10%电子级草酸水溶液，同时支持客户定制5%、15%等不同含量配比；每一批次产品均可提供COA检测报告，采用ICP-MS检测金属杂质，单一金属离子指标可控至≤1ppb，满足先进制程对超净高纯试剂的品质要求。

基础理化参数

- 产品名称：电子级草酸水溶液

- CAS号：144-62-7

- 分子式：C₂H₂O₄

- 分子量：90.03

- 外观：无色透明液体

- 标准含量：10%；可定制5%、15%浓度等

- 草酸纯度：≥99.5%（HPLC检测）

- 关键金属杂质：Na、Mg、Al、K、Ca、Fe、Cu、Zn、Cr、Ni、Mn、Ag、Pb 单一金属离子≤1ppb（ICP-MS检测）

-检测手段：滴定法、HPLC、ICP-MS、水分仪

主要应用领域

1. 半导体晶圆制程：晶圆湿法清洗、CMP后金属杂质去除、光刻配套清洗，去除硅片表面金属离子、氧化物残留，降低器件缺陷率，适配先进封装工艺。

2. 显示面板行业：TFT-LCD、OLED面板，ITO清洗、金属层表面处理，兼顾清洗效率与基板保护。

3. 光伏新能源：光伏电池片、硅材料表面清洗处理。

4. 其他精密电子：精密元器件、PCB前处理、实验室超高纯分析试剂。

产品优势

- 低金属杂质：ICP-MS全元素检测，单金属离子控制ppb级别，每批次出具COA分析报告；

- 洁净包装体系：电子级专用洁净桶，规避二次污染；

- 稳定批量供货：工厂自有产线，可小批量试样，也可大批量项目供货；

- 技术支持：可提供TDS、SDS安全技术说明书，配合客户工艺选型。